一种纳米模板用拼板压印机
基本信息
| 申请号 | CN201922287127.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210835583U | 公开（公告）日 | 2020-06-23 |
| 申请公布号 | CN210835583U | 申请公布日 | 2020-06-23 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 冀然 | 申请（专利权）人 | 苏州天仁微纳智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京科家知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈娟 |
| 地址 | 215500江苏省苏州市常熟经济技术开发区四海路11号科创园1号楼311室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出一种纳米模板用拼板压印机，包括：工作台；模具移动装置，模具移动装置包括：与工作台转动连接的模具横向移动机构，以及与模具横向移动机构螺纹连接的模具纵向移动机构；模具基台，与模具纵向移动机构连接，模具基台上设置有真空吸盘；支架，位于工作台上方与工作台连接；压印移动装置，位于所述真空吸盘上方与所述支架连接可纵向垂直移动；滴胶装置，与压印移动装置连接；基片取放装置，与压印移动装置连接；紫外曝光装置，与压印移动装置连接，紫外曝光装置上设置有紫外灯。本实用新型工作效率高，不仅提高了产量，且降低了成本。 |
