用于硅片批量清洗的清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201922287098.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211160969U | 公开（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申请公布号 | CN211160969U | 申请公布日 | 2020-08-04 |
| 分类号 | B08B3/08(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 冀然 | 申请（专利权）人 | 苏州天仁微纳智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京科家知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈娟 |
| 地址 | 215500江苏省苏州市常熟经济技术开发区四海路11号科创园1号楼311室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出一种用于硅片批量清洗的清洗装置，包括：浸泡池，与浸泡池连通有进液管及排液管，进液管及排液管上分别连接有感应开关，浸泡池上方设置有输送口，输送口上连接有用于打开或关闭输送口的感应门A；升降机构，位于浸泡池内、输送口的下方，升降机构顶部连接有托板；清洗框，放置在托板上用于盛放硅片；干燥池，位于浸泡池上方与输送口连通，与干燥池连通有可向干燥池内通入干燥气体的气管，气管上连接有控制开关，干燥池的顶部与输送口相对应的位置设置有输出口，输出口上连接有用于打开或关闭输出口的感应门B。本实用新型可一次清洗多片硅片，能够节约成本、提高清洗效率，且能够提高硅片洁净度，缩短干燥时间。 |
