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一种转移薄晶圆的吸附装置

基本信息

申请号 CN202121363533.8 申请日 -
公开（公告）号 CN215527694U 公开（公告）日 2022-01-14
申请公布号 CN215527694U 申请公布日 2022-01-14
分类号 H01L21/683（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 平登宏;刘奇;邹应豪;王量;陈丽翔 申请（专利权）人 威科赛乐微电子股份有限公司
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 代理人 黄宗波
地址 404000重庆市万州区万州经开区高峰园檬子中路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶圆吸附设备技术领域，公开了一种转移薄晶圆的吸附装置，包括手柄和固定在手柄一端的吸盘，手柄内安装有真空发生器，吸盘上设有吸附组件，吸附组件包括开设于吸盘上的弧形槽和固定于吸盘上的弧形软环，弧形软环与弧形槽围成真空通道，真空通道与真空发生器连通，弧形软环背离吸盘的一侧开设有多个吸附孔。本实用新型不仅能够牢固地吸附产生翘曲的薄晶圆；而且材质柔软的弧形软环能够根据晶圆的外形产生适当的形变，能够减小对晶圆的压力，从而减小破片几率；并且弧形软环与晶圆的接触面积小，也能够降低对晶圆的污染。