首页/ 威科赛乐微电子股份有限公司/ 专利详情

一种可调节翘曲的Vcsel外延结构

基本信息

申请号 CN202121134870.X 申请日 -
公开（公告）号 CN215528189U 公开（公告）日 2022-01-14
申请公布号 CN215528189U 申请公布日 2022-01-14
分类号 H01S5/183（2006.01）I;H01S5/343（2006.01）I;H01S5/34（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 张新勇;杨绍林;刘浩飞;苑汇帛 申请（专利权）人 威科赛乐微电子股份有限公司
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 代理人 黄宗波
地址 404000重庆市万州区万州经开区高峰园檬子中路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及激光芯片技术领域，尤其涉及一种可调节翘曲的Vcsel外延结构，包括衬底，所述衬底上依次沉积有缓冲层、N型掺杂的DBR、有源层、氧化限制层、P型掺杂的DBR和欧姆接触层，所述N型掺杂的DBR和P型掺杂的DBR中周期性设置有应力补偿层。本实用新型公开了一种可调节翘曲的Vcsel外延结构及其制备方法，通过周期性设置的应力补偿层，不仅能够减少整个外延层应力，提高外延层晶体质量，同时还能够降低外延片翘曲，提高外延片各参数的均匀性。