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一种晶圆载具

基本信息

申请号 CN202121008418.9 申请日 -
公开（公告）号 CN215527693U 公开（公告）日 2022-01-14
申请公布号 CN215527693U 申请公布日 2022-01-14
分类号 H01L21/683（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 来征;刘奇 申请（专利权）人 威科赛乐微电子股份有限公司
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 代理人 黄宗波
地址 404000重庆市万州区万州经开区高峰园檬子中路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆载具，包括载盘，载盘上表面为晶圆吸附面，载盘上开设有若干阶梯孔，载盘的底部一体成型有环体，环体内滑动设置有调节盘，载盘、环体和调节盘三者形成调节腔，环体于载盘底部一体成型有安装环，安装环上一体成型有多根安装柱，调节盘上开设有多个第一通孔，安装柱上套设有压缩弹簧，压缩弹簧的一端与安装环底面相接，另一端与调节盘顶面相接，调节盘上安装有多个单向阀，环体的一侧开设有通气孔，通气孔内密封连接有气阀，调节盘的底部设有调节件。解决现有技术晶圆移动至载台上的过程中极易破片，且真空吸盘固定晶圆时，晶圆各处的吸力不同，容易导致晶圆翘曲，影响晶圆的测试效果的问题。