一种光罩清洗装置及其清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202111124378.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114011791A | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN114011791A | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | B08B3/08（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B1/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 金龙 | 申请（专利权）人 | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄宗波 |
| 地址 | 404000重庆市万州区万州经开区高峰园檬子中路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光罩清洗装置及其清洗方法，涉及光罩清洗技术领域。本发明的一种光罩清洗装置，包括机体，设置于机体内的置物台、药液浸泡槽和刷洗槽，于所述药液浸泡槽的上方固定安装有第一抓取模块，所述刷洗槽的上方固定安装有第二抓取模块，于所述药液浸泡槽对应的位置安装有第一刷洗组件，所述刷洗槽对应的位置固定安装有第二刷洗组件。本发明公开了一种光罩清洗装置及其清洗方法，采用多槽自动清洗模式，能够对光罩进行多次清洗，清洗效果更好，且减少了人工操作的步骤，节省了大量人力。 |
