一种磷化铟籽晶的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111277149.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114161590A | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN114161590A | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | B28D5/00（2006.01）I;B24B1/00（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I;C30B33/00（2006.01）I;C30B11/14（2006.01）I | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 发明人 | 傅伟力;李勇 | 申请（专利权）人 | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄宗波 |
| 地址 | 404000重庆市万州区万州经开区高峰园檬子中路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种磷化铟籽晶的制备方法，涉及半导体材料技术领域。本发明的一种磷化铟籽晶的制备方法，所述制备方法是对磷化铟单晶进行角度调整，并通过测试得到合格区域后，再进行钻取、打磨、抛光得到磷化铟籽晶。本发明公开了一种磷化铟籽晶的制备方法，不仅可以快速制备磷化铟籽晶，操作工艺简单快捷，不受晶体形状及晶向角度影响，且处理后的籽晶表面光滑平整、性质稳定，大大提高了磷化铟单晶的晶体生长质量。 |
