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声表面波谐振器

基本信息

申请号 CN201710067035.0 申请日 -
公开（公告）号 CN106911317B 公开（公告）日 2020-01-21
申请公布号 CN106911317B 申请公布日 2020-01-21
分类号 H03H9/02;H03H9/64 分类 基本电子电路;
发明人 董启明;王宁;李善斌;刘长顺;张伟 申请（专利权）人 浙江华远微电科技有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 深圳华远微电科技有限公司;浙江华远微电科技有限公司
地址 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新二社区庄村路5号D、E栋
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种声表面波谐振器，包括基础叉指换能器和反射栅，所述基础叉指换能器包括两个基础叉指换能器单元，并排设置在压电基片上，用于产生声表面波，所述两个基础叉指换能器单元相邻电极条的中心距离为(n+0.05)P～(n+0.2)P(n＝1，2，3…)，所述反射栅设置在所述基础叉指换能器的两侧，用于反射所述基础叉指换能器产生的声表面波，其中，P为所述基础叉指换能器的周期；通过在两个基础叉指换能器单元之间设置特定的间距，使得其产生的声表面波的速度变化被反射系数变化补偿，进而稳定了谐振频率，谐振频率对声表面波谐振器自身的尺寸，如叉指换能器的金属厚度变化不敏感，使得谐振频率更稳定，同时简化了制造工艺。