首页/ 成都纽曼和瑞微波技术有限公司/ 专利详情

一种波导单元以及等离子体化学气相沉积设备

基本信息

申请号 CN202023340298.0 申请日 -
公开（公告）号 CN214177873U 公开（公告）日 2021-09-10
申请公布号 CN214177873U 申请公布日 2021-09-10
分类号 H05K7/20（2006.01）I;H01P3/00（2006.01）I;C23C16/511（2006.01）I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 黄春林;胡宗义;刘文科 申请（专利权）人 成都纽曼和瑞微波技术有限公司
代理机构 北京卓恒知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 孔鹏
地址 610000四川省成都市成华区龙潭总部经济城华冠路192号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种波导单元以及等离子体化学气相沉积设备，属于微波传导技术领域，波导单元设置有通道，波导单元包括至少一个第一散热壁，该第一散热壁设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口与第一出水口通过第一流道连通，第一流道位于第一散热壁内。本实施例公开的波导单元直接将用于供冷却水通过的第一流道设置在波导单元的侧壁内，由第一进水口和第一出水口令第一流道内的冷却水与外界形成循环，冷却水流速稳定，冷却水与通道间隔距离小，冷却效果较佳，且冷却水沿第一流道流动，流动较为均匀，具有较强的流动指向性，使第一流道内各处的冷却水温度较为一致，从而提升冷却效果。