一种转动组件、悬臂装置以及等离子体化学气相沉积设备

基本信息

申请号 CN202023340265.6 申请日 -
公开(公告)号 CN214304836U 公开(公告)日 2021-09-28
申请公布号 CN214304836U 申请公布日 2021-09-28
分类号 F16C11/04(2006.01)I 分类 工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热;
发明人 肖坚;刘文科;胡宗义 申请(专利权)人 成都纽曼和瑞微波技术有限公司
代理机构 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 孔鹏
地址 610000四川省成都市成华区龙潭总部经济城华冠路192号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种转动组件、悬臂装置以及等离子体化学气相沉积设备,属于控制结构技术领域,转动组件包括固定轴、转动座、涡轮、蜗杆以及电机,涡轮与固定轴连接,转动座与固定轴之间转动连接,蜗杆与转动座转动连接,且蜗杆与涡轮啮合,电机驱动连接蜗杆,蜗杆的转动轴线可以与涡轮的转动轴线垂直设置。本实用新型公开的转动组件无需在待控制部件上加工轴孔,待控制部件可以直接与转动座进行连接,当电机驱动蜗杆转动时,蜗杆在自转的过程中绕涡轮转动,从而带动转动座上的结构或者部件转动,实现角度的调整,这种传动组件结构简单,蜗杆同时发生自转和公转,控制精度高,且转动稳定可靠。