一种新型SUB基板识别系统

基本信息

申请号 CN202022470232.7 申请日 -
公开(公告)号 CN213876763U 公开(公告)日 2021-08-03
申请公布号 CN213876763U 申请公布日 2021-08-03
分类号 G06K9/00(2006.01)I;F21V33/00(2006.01)I 分类 计算;推算;计数;
发明人 陈玉龙;郦文杰 申请(专利权)人 海太半导体(无锡)有限公司
代理机构 无锡市朗高知识产权代理有限公司 代理人 赵华
地址 214000江苏省无锡市新吴区新区出口加工区K5、K6地块
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种新型SUB基板识别系统,包括真空吸附基板、底部灯光和顶部灯光,真空吸附基板顶部设置有吸嘴板,吸嘴板的四周均小于真空吸附基板的四周,真空吸附基板在无吸嘴板投影区域的边界上通过扩散器安装有顶部灯光;底部灯光设置在真空吸附基板的下方区域,位于真空吸附基板的正下方还安装有相机;底部灯光和顶部灯光均通过灯光控制器控制。本实用新型结构简单,操作方便,不同的物料使用不用的识别系统,避免相互干扰,不仅识别精度增加而且提高工作效率。