一种晶元背面光反射率测量装置
基本信息
| 申请号 | CN202020630052.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213600580U | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN213600580U | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | G01N21/55（2014.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 姜华 | 申请（专利权）人 | 海太半导体（无锡）有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵华 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区新区出口加工区K5、K6地块 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型的目的在于提供一种晶元背面光反射率测量装置，用于监测晶元切割前晶元背面反射能量；包括测量单元，放置台，支架，总控单元；一测量单元，包括中空壳体，设置在所述中空壳体内的积分球，设置在所述积分球外表面的激光器和光电探测器；一放置台，通过一支架固定连接在所述测量单元正下方；所述放置台两侧边缘设置有卡槽；所述放置台中部上表面设置有限位块一总控单元，包括计算机芯片和控制电路；本实用新型的有益效果为：方便对晶元背面的光反射率进行监测，有效确保晶元切割的实际能量。 |
