一种阳极盒、阳极盒组件及水平电镀装置

基本信息

申请号 CN202022158910.6 申请日 -
公开(公告)号 CN213739768U 公开(公告)日 2021-07-20
申请公布号 CN213739768U 申请公布日 2021-07-20
分类号 C25D17/12(2006.01)I;C25D17/00(2006.01)I;C25D21/04(2006.01)I;C25D7/00(2006.01)I 分类 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕;
发明人 李建中;尚庆雷;肖体红 申请(专利权)人 昆山东威科技股份有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 安志娇
地址 215300江苏省苏州市昆山市巴城镇东定路东侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种阳极盒、阳极盒组件及水平电镀装置,包括主体和隔膜,主体呈框架结构,框架围合形成容置腔,容置腔内适于放置阳极件,隔膜上密布多个第一通孔,隔膜设置在主体的框架结构的一侧上,隔膜上至少背向阳极件的一侧表面呈朝向阳极件凹陷的曲面。该阳极盒在电镀槽体中放置在待处理工件下方,且隔膜位于待处理工件的下表面和阳极件之间,由于隔膜上朝向待处理工件的下表面的一侧表面为曲面,因此,阳极件在电镀液中发生反应产生的气泡在上升至隔膜的表面后,由曲面的凹陷区沿隔膜表面向曲面的最高点转移,曲面的凹陷区内不存在气泡,正对该凹陷区的待处理工件不会受到气泡的影响,保证电镀的均匀性和稳定性。