多晶硅生产中的尾气中各组分含量的检测方法及检测系统
基本信息
| 申请号 | CN201811494460.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111289689A | 公开（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申请公布号 | CN111289689A | 申请公布日 | 2020-06-16 |
| 分类号 | G01N33/00(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 马新芳;邱艳梅;刘国霞 | 申请（专利权）人 | 新疆新特新能材料检测中心有限公司 |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 新疆新特新能材料检测中心有限公司 |
| 地址 | 831500新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区（工业园）面广东街2499号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种多晶硅生产中的尾气中各组分含量的检测方法及检测系统，该方法包括以下步骤：除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷，然后通入碱溶液吸收氯化氢来测定其中氯化氢的含量，再测定其中氢气的含量、氧气的含量；除去未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢，再测定其中氯硅烷的含量；根据未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氯化氢的含量、氢气的含量、氧气的含量、氯硅烷的含量，计算未处理的待测多晶硅生产中的尾气中的氮气含量。该方法可以准确测定多晶硅生产中废气处理工序的尾气中各组分含量，在每一种气体含量检测之前，均对干扰因子进行了去除，确保每一过程均为单项检测，确保了检测结果的准确性。 |
