用于分析氯硅烷中痕量杂质的前处理系统

基本信息

申请号 CN201822083005.1 申请日 -
公开(公告)号 CN209690000U 公开(公告)日 2019-11-26
申请公布号 CN209690000U 申请公布日 2019-11-26
分类号 G01N1/28(2006.01); G01N1/44(2006.01) 分类 测量;测试;
发明人 罗建文; 邱艳梅; 刘国霞; 曾凤; 罗丹; 陈星; 唐华华 申请(专利权)人 新疆新特新能材料检测中心有限公司
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人 新疆新特新能材料检测中心有限公司
地址 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市甘泉堡经济技术开发区(工业园)面广东街2499号
法律状态 -

摘要

摘要 本实施例公开了一种用于分析氯硅烷中痕量杂质的前处理系统,包括:消解罐,包括:罐体和盖设于罐体上的盖体,罐体与盖体密封连接,罐体用于盛放待处理的氯硅烷样品,盖体上开设有第一开口、第二开口;第一管道,第一管道与第一开口密封连接,第一管道的第一端穿过第一开口且位于罐体内,第一管道用于向消解罐内通入载气;第二管道,第二管道与第二开口密封连接,第二管道的第一端穿过第二开口且位于罐体内,第二管道用于输出负载有氯硅烷的载气;加热装置,其上设置有加热区,加热区用于容纳消解罐并对其进行加热。该前处理系统避免了待处理的氯硅烷样品受到二次污染,且通过载气的携带蒸发出来的氯硅烷,可减少蒸发氯硅烷的时间,提高工作效率。