用以由发光二极管移除热量的系统及方法
基本信息
申请号 | CN200680002135.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN100487890C | 公开(公告)日 | 2009-05-13 |
申请公布号 | CN100487890C | 申请公布日 | 2009-05-13 |
分类号 | H01L23/34(2006.01)I;H01L23/367(2006.01)I;H01L23/40(2006.01)I;H01L21/58(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 段忠;陈长安 | 申请(专利权)人 | 旭瑞光电股份有限公司 |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 美商旭明国际股份有限公司;佛山市国星半导体技术有限公司 |
地址 | 美国爱达荷州 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种发光二极管的制造方法,包括:提供基板;在基板上形成一多层磊晶结构;利用电化学沉积,在多层磊晶结构上沉积一或多层金属层;利用蚀刻定义出一或多个台面;形成一或多层非导电层;移除一部分的非导电层;沉积至少一或多层金属层;直接在非导电层上方所沉积的金属层中形成一个或多个热量移除结构;以及移除基板;其中热量移除结构的形貌表面增加因子不小于1.1。 |
