一种密封式旋转匀胶设备

基本信息

申请号 202011101020X 申请日 -
公开(公告)号 CN112246554A 公开(公告)日 2021-01-22
申请公布号 CN112246554A 申请公布日 2021-01-22
分类号 B05C11/08(2006.01)I; 分类 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 汪竹;陈酉冰;魏益波;刘正伟 申请(专利权)人 江苏雷博科学仪器有限公司
代理机构 江阴市权益专利代理事务所(普通合伙) 代理人 陈强
地址 214400江苏省无锡市江阴市高新区金山路201号创智产业园数码港A座5楼南
法律状态 -

摘要

摘要 本发明一种密封式旋转匀胶设备,包含有主机架(3),所述主机架(3)上竖向设置有转动主轴(10),所述转动主轴(10)由主动力机构(7)驱动旋转,载物盘(4)固定安装于转动主轴(10)的顶部,且载物盘(4)位于主机架(3)的平台面上方,基片顶升机构(9)安装于主机架(3)的平台面下方,且基片顶升机构(9)的顶升件向上穿过主机架(3)的平台面,载物盘(4)上方设置有同步盖(2),且同步盖(2)的顶部中心轴旋转插接在同步盖提升机构(1)上。本发明一种密封式旋转匀胶设备,能够方便的对超大尺寸基片进行旋涂匀胶。