一种导轨式剥离清洗装置

基本信息

申请号 CN201922495484.2 申请日 -
公开(公告)号 CN211605103U 公开(公告)日 2020-09-29
申请公布号 CN211605103U 申请公布日 2020-09-29
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 汪竹;魏益波;钱燕娟 申请(专利权)人 江苏雷博科学仪器有限公司
代理机构 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 江苏雷博科学仪器有限公司
地址 214400江苏省无锡市江阴市江阴高新区澄江中路159号C301
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型一种导轨式剥离清洗装置,所述装置包含有排在一直线上的浸泡单元(1)、清洗单元(2)和片盒单元(3),搬运单元(4)包含有传送轨道(4.1),运行于传送轨道(4.1)上的传动模块一(4.2)和传动模块二(4.3),所述传动模块一(4.2)和传动模块二(4.3)上均安装有机械手;所述浸泡单元(1)、清洗单元(2)和片盒单元(3)的中心位于中心线(101)上,所述传送轨道(4.1)与中心线(101)相平行。本实用新型一种导轨式剥离清洗装置,其在提高产能的同时保证了清洗洁净度,且通过集成式方式使得整体体积更小,有利于车间内的产线排布。