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一种钇钡铜氧靶材的制造方法

基本信息

申请号	CN201210039987.9	申请日	-
公开（公告）号	CN102584205B	公开（公告）日	2013-07-10
申请公布号	CN102584205B	申请公布日	2013-07-10
分类号	C04B35/45(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I	分类	水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
发明人	钟小亮;王广欣;王树森	申请（专利权）人	苏州晶纯新材料有限公司
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	汪青
地址	215600 江苏省苏州市张家港市国泰北路1号留学生创业园D-102
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种钇钡铜氧靶材的制造方法，其包括：（1）将Y2O3、BaO、CuO按一定比例（原子比比例为Y∶Ba∶Cu=1∶2∶3）混合均匀得混合粉末，Y2O3、BaO及CuO的一次粒度为100～300nm，纯度大于99.9wt%；（2）对混合粉末进行四柱液压机冷压压制成型，冷压压力为200～300MPa；（3）将混合体放入氧气常压烧结炉中，在800～950℃下烧结，烧结完毕，冷却到常温取出，破碎成-300目的粉末；（4）将粉末用四柱液压机冷压压制成型为坯件，冷压压力为30～50MPa；（5）对坯件进行冷等静压加工，压力为200～300MPa；（6）将坯件置于炉中进行烧结。本发明制造出的钇钡铜氧靶材，其晶粒尺寸细小且致密度高。