一种高致密铬合金靶材的生产方法
基本信息
| 申请号 | CN201210507051.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102978576B | 公开（公告）日 | 2014-12-31 |
| 申请公布号 | CN102978576B | 申请公布日 | 2014-12-31 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C22F1/18(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I;C22C27/06(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 钟小亮;王广欣;王树森 | 申请（专利权）人 | 苏州晶纯新材料有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 汪青 |
| 地址 | 215600 江苏省苏州市张家港市国泰北路1号留学生创业园D-102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种高致密铬合金靶材的生产方法，其包括依次进行的真空脱气、阶段性升温加、保压炉冷、热锻、退火、热轧、退火以及机加工步骤，其中：采用-200目、纯度为99.95wt%以上、氧含量为1000ppm以下的铬粉以及合金金属的粉体为原料。本发明能够成功获得成分与密度均匀、晶粒大小小于100微米、纯度大于99.9%、相对密度大于99%、氧含量小于1000ppm的高致密铬合金靶材。此外，本发明方法生产成本低，工艺过程简单易控。 |
