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一种钼合金管靶的生产方法

基本信息

申请号 CN201210293479.3 申请日 -
公开（公告）号 CN102806353B 公开（公告）日 2015-03-11
申请公布号 CN102806353B 申请公布日 2015-03-11
分类号 B22F5/10(2006.01)I;B22F3/14(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I 分类 铸造；粉末冶金;
发明人 钟小亮;王广欣;王树森 申请（专利权）人 苏州晶纯新材料有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 汪青
地址 215600 江苏省苏州市张家港市国泰北路1号留学生创业园D-102
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种钼合金管靶的生产方法，其通过将预合金粉末置于专用包套中，在真空条件下进行热等静压形成管靶，专用包套包括同轴设置的不锈钢内管和低碳钢外管以及用于固定不锈钢内管和低碳钢外管的两端的固定座，不锈钢内管为适合作为钼合金管靶的衬管的无磁性或弱磁性不锈钢管，低碳钢外管的壁厚小于不锈钢内管的壁厚，且低碳钢外管的内径与不锈钢内管的外径的差值为靶管的厚度的2.1~2.3倍，低碳钢外管上预焊有抽气管，热等静压的温度为1000℃~1200℃，压力大于等于100MPa。本发明所得钼合金管靶成分均匀、无可见偏析，钯管与衬管之间结合紧密，晶粒细小、纯度高，能够满足液晶显示和触控屏行业要求。