一种稳定气体出气量的控制器
基本信息
| 申请号 | CN201821161140.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208562594U | 公开（公告）日 | 2019-03-01 |
| 申请公布号 | CN208562594U | 申请公布日 | 2019-03-01 |
| 分类号 | C30B31/16（2006.01）I; C30B31/18（2006.01）I; H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 胡学一; 杨辉; 吴而义; 支凯飞 | 申请（专利权）人 | 洛阳尚德太阳能电力有限公司 |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市中国（河南）自由贸易试验区洛阳片区高新技术产业开发区华夏路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种稳定气体出气量的控制器，控制器由壳体组成，壳体内部形成有空腔，壳体左侧内壁中间固定有弹簧，弹簧另一端固定有阀门，壳体右侧面设有第一出气口，第一出气口凸出壳体右侧面且其外壁带有螺纹，壳体右侧面内壁设置有挡块，挡块的内壁呈漏斗状，形成漏斗状空腔，该漏斗状空腔与第一出气口连通；阀门为锥体状，其侧壁的倾斜角度与挡块漏斗状内壁的倾斜角度一致，控制器壳体上还设置有第二出气口；控制器通过旁路与扩散源瓶出气管连接，控制器与旁路螺纹连接。本实用新型可根据扩散源瓶出气量的变化，自动调整管内气压，从而控制通入扩散管内的三氯氧磷气体分子量，不需要人工对扩散工艺参数频繁调整，制程稳定。 |
