晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置及镀膜方法
基本信息
| 申请号 | CN201810989882.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108950514B | 公开（公告）日 | 2020-05-12 |
| 申请公布号 | CN108950514B | 申请公布日 | 2020-05-12 |
| 分类号 | C23C16/02;C23C16/34;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/513 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 支凯飞;杨辉;李伟乐;胡学一;吴而义 | 申请（专利权）人 | 洛阳尚德太阳能电力有限公司 |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 地址 | 471000 河南省洛阳市中国（河南）自由贸易试验区洛阳片区高新技术产业开发区华夏路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种晶硅太阳能电池管式PECVD预热储舟装置及镀膜方法，取消原储舟架，在原储舟架位置及同一直线上增加传动轨道A和传动轨道B，传动轨道B正上方装有预热储舟箱，传动托盘在两个轨道之间滑动。工作时，传动托盘先位于轨道A上，机械臂将石墨舟装到传动托盘上，传动托盘携带石墨舟运送至轨道B上装载到预热储舟箱内，在箱内利用等待空管的时间对石墨舟预热，同时利用空气中的氧气对硅片氧化，可节省刻蚀下料处的臭氧氧化工序，待有空管时，传动托盘及石墨舟被传送至轨道A上，之后进入空管镀膜。由于石墨舟已经提前预热并氧化，使镀膜工艺省去了原有的升温步骤，管内整个工艺周期缩短了13.7min左右，产量提升了50％。 |
