一种晶硅太阳能电池石墨舟预处理方法
基本信息
| 申请号 | CN201810037001.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108598211B | 公开（公告）日 | 2020-05-01 |
| 申请公布号 | CN108598211B | 申请公布日 | 2020-05-01 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L21/673 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 支凯飞;杨辉;李伟乐;胡学一;吴而义 | 申请（专利权）人 | 洛阳尚德太阳能电力有限公司 |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 地址 | 471003 河南省洛阳市中国(河南)自由贸易试验区洛阳片区高新技术产业开发区华夏路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶硅太阳能电池石墨舟预处理方法，将相邻石墨舟片上对应的每对定位卡点均用陶瓷环套住，然后将石墨舟放入PEVCD设备上舟区域，进行第一遍预处理；第一遍预处理结束后，将石墨舟上的螺母松开，使用手指拨动两片相邻的石墨舟片，石墨舟片之间间距增大，陶瓷环自动掉落，再将螺母拧紧，将石墨舟放入PEVCD设备上舟区域，运行第二遍预处理工艺；第二遍预处理工艺分两步进行，两步工艺的参数不同。本发明的预处理方法使石墨舟在特定条件下，卡点仅进行一遍预沉积，石墨舟其它部位进行两遍预沉积，预处理后的石墨舟承载硅片镀膜，减少了硅片色差的产生，提高了整体镀膜的均匀性，且降低了处理成本，更易推广使用。 |
