一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置

基本信息

申请号 CN202020971840.3 申请日 -
公开(公告)号 CN211248328U 公开(公告)日 2020-08-14
申请公布号 CN211248328U 申请公布日 2020-08-14
分类号 B22F3/00(2006.01)I 分类 -
发明人 张凤戈;岳万祥;魏铁峰;史建有 申请(专利权)人 涿州安泰六九新材料科技有限公司
代理机构 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
地址 100081北京市海淀区学院南路76号17幢一层101室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置,包括用于盛装金属粉末的料桶和吊装机构,所述料桶的底端连通一装料管,所述装料管的高度大于或等于待装粉的包套管的高度,所述吊装机构用于吊起所述料桶并驱动所述装料管沿所述包套管的延伸方向移动以调整所述装料管插入所述包套管内的深度,本实用新型既能显著提升装粉作业效率又可以提升产品质量。