一种组合式PVD镀膜靶材及PVD镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN202020238511.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212025441U | 公开（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申请公布号 | CN212025441U | 申请公布日 | 2020-11-27 |
| 分类号 | C23C14/22(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张凤戈;岳万祥;魏铁峰;缪磊;高众;姚伟 | 申请（专利权）人 | 涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京五洲洋和知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
| 地址 | 100081北京市海淀区学院南路76号17幢一层101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种组合式PVD镀膜靶材及PVD镀膜机，所述组合式PVD镀膜靶材包括材质不同的靶材本体和底座，所述靶材本体与所述底座分体设置，所述底座的第一端与所述靶材本体的一端连接，将所述底座与所述靶材本体组合为一体。本实用新型的组合式PVD镀膜靶材可以解决现有技术的脆性靶材与镀膜机安装配合时存在容易断裂的问题，有助于改善成膜质量，提高生产效率并降低成本。 |
