一种用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置

基本信息

申请号 CN202021085352.9 申请日 -
公开(公告)号 CN211360655U 公开(公告)日 2020-08-28
申请公布号 CN211360655U 申请公布日 2020-08-28
分类号 B22F3/15(2006.01)I;B22F3/00(2006.01)I 分类 -
发明人 张凤戈;魏铁峰;岳万祥;张欠男 申请(专利权)人 涿州安泰六九新材料科技有限公司
代理机构 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
地址 100081北京市海淀区学院南路76号17幢一层101室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置,所述装粉装置包括:包套主体、包套上盖和包套下盖;所述包套上盖盖设在所述包套主体上端,所述包套下盖设置在所述包套主体底端,所述包套主体、所述包套上盖和所述包套下盖合围成一个腔体,所述包套主体的内侧面、所述包套上盖的底部端面和所述包套下盖的上表面上均设置有耐高温涂层;涂层材料可选用Al2O3、TiO2、ZrO2等氧化物。本装置通过在包套主体、包套上盖和包套下盖的内表面增加一层耐高温涂层,阻止HIP过程中包套中Fe和Cr之间的合金化,有效抑制皮下裂纹的产生,从而可以减小包套的设计尺寸,提升材料利用率,降低靶材成本。