晶圆清洗装置

基本信息

申请号 CN202011153388.0 申请日 -
公开(公告)号 CN112371591B 公开(公告)日 2022-03-04
申请公布号 CN112371591B 申请公布日 2022-03-04
分类号 B08B1/02(2006.01)I;B08B17/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 许振杰;王同庆 申请(专利权)人 华海清科(北京)科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100176北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了晶圆清洗装置,其包括:壳体;支撑组件,其位于所述壳体中,用于可旋转地支撑沿竖直方向设置的待清洗的晶圆;清洗刷,其平行、间隔设置并绕其轴线滚动;护板,其设置于所述清洗刷的上侧,以阻挡清洗刷滚动产生的流体溅落至晶圆表面。