晶圆清洗装置
基本信息
申请号 | CN202011153388.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112371591B | 公开(公告)日 | 2022-03-04 |
申请公布号 | CN112371591B | 申请公布日 | 2022-03-04 |
分类号 | B08B1/02(2006.01)I;B08B17/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
发明人 | 许振杰;王同庆 | 申请(专利权)人 | 华海清科(北京)科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了晶圆清洗装置,其包括:壳体;支撑组件,其位于所述壳体中,用于可旋转地支撑沿竖直方向设置的待清洗的晶圆;清洗刷,其平行、间隔设置并绕其轴线滚动;护板,其设置于所述清洗刷的上侧,以阻挡清洗刷滚动产生的流体溅落至晶圆表面。 |
