具有差动螺纹结构的磨削设备
基本信息
| 申请号 | CN202010748282.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111823084B | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN111823084B | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | B24B7/22;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/22;B24B49/00;B24B49/12;B24B57/02 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 付永旭;刘远航;赵德文;李长坤;路新春 | 申请（专利权）人 | 华海清科（北京）科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100176 北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具有差动螺纹结构的磨削设备，包括工作台、吸盘转台、磨削工具、以及角度调节装置，其包括与吸盘转台连接的第一差动螺纹组件和第二差动螺纹组件，第一差动螺纹组件用于使吸盘转台绕第二定向转动，第二差动螺纹组件用于使吸盘转台绕第一定向转动；第一差动螺纹组件和第二差动螺纹组件均通过差动螺纹结构实现；第一定向与第二定向正交于吸盘转台中心并且二者组成的直角坐标系平面平行于吸盘转台上表面，第一定向垂直于在砂轮对晶圆磨削时砂轮与晶圆接触的两个端点连线。本发明能够实现晶圆磨削面形的准确控制，提高了加工效果和制造品质，从而为超高密度的半导体堆叠制程提供技术保障，是半导体高密度封装发展等的重要组成。 |
