一种清洗刷对中装置和晶圆清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202023002429.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213716852U | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN213716852U | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王剑 | 申请（专利权）人 | 华海清科（北京）科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种清洗刷对中装置和晶圆清洗装置，所述清洗刷对中装置包括滚刷工装、晶圆工装和卡紧机构；所述晶圆工装设置在晶圆清洗装置的壳体中，其由壳体中的支撑滚轮定位；所述滚刷工装设置于所述晶圆工装的两侧，其能够沿水平方向移动以靠近及远离所述晶圆工装；所述卡紧机构设置于所述壳体的顶部并位于晶圆工装的上侧，其通过抵接所述晶圆工装的外缘以保持晶圆工装的位置。 |
