一种用于65KeV双等离子体离子源质子引出的引出电极
基本信息
| 申请号 | CN202011614982.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112652509A | 公开（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申请公布号 | CN112652509A | 申请公布日 | 2021-04-13 |
| 分类号 | H01J3/40;H01J3/04 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李文亮;周博文;侯瑞;张鹏蛟;张鸿;孙安;李俊周 | 申请（专利权）人 | 安德信科技集团有限公司 |
| 代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 顾翰林 |
| 地址 | 210046 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于65KeV双等离子体离子源质子引出的引出电极，属于离子源技术领域，包括从前至后依次设置的阳极、前隔套、抑制电极、后隔套、地电极和法兰盘；前隔套与后隔套均为陶瓷隔套。本发明是一种可抑制二次电子回到离子源的双等离子体离子源质子引出的引出电极。 |
