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一种电子级超纯二氧化碳的生产系统

基本信息

申请号	CN201822095403.5	申请日	-
公开（公告）号	CN209442658U	公开（公告）日	2019-09-27
申请公布号	CN209442658U	申请公布日	2019-09-27
分类号	C01B32/50（2017.01）I	分类	无机化学;
发明人	周大荣; 俞健; 陈志诚	申请（专利权）人	上海启元空分技术发展股份有限公司
代理机构	上海申新律师事务所	代理人	上海启元空分技术发展股份有限公司
地址	201800 上海市嘉定区和裕路150号
法律状态	-

摘要

本实用新型属于气体生产领域，特别涉及一种电子级超纯二氧化碳的生产系统。该生产系统主要包括：二氧化碳脱硫罐(F1)，回热器(E1)，加热器(EH1)，催化转化炉(F2)，水冷却器(WE2)，再生式干燥器，原料二氧化碳过冷器(RU1)，第一级汽提塔(C1)，第一级汽提塔冷凝器(RU2)，塔顶分离器(G1)，C1塔底再沸器(E2)，第二级汽提塔(C2)，第二级汽提塔冷凝器(RU3)，塔顶分离器(G2)，产品二氧化碳过冷器(RU4)，电子级超纯二氧化碳液体贮罐(CG3)，C2塔底再沸器(EH3)，以及用于连接各设备的若干阀门与管线。本实用新型所提供的电子级超纯二氧化碳的生产系统及其产品可得到广泛应用，具有良好的市场前景。