一种基于风速均一化的ECS装置
基本信息
| 申请号 | CN202120892607.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215276528U | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN215276528U | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | B01D53/18（2006.01）I;B01D53/78（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 王贝易;孙涛;侯新建 | 申请（专利权）人 | 盛奕半导体科技（无锡）有限公司 |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 崔婕 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市中国传感网国际创新园E2-111 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及废气净化技术领域，尤其是一种基于风速均一化的ECS装置。其包括处理箱体，所述处理箱体内沿着废气处理方向依次设置第一隔板、第二隔板和第三隔板，所述第一隔板下端固定连接处理箱体下箱板，第一隔板上端固定连接处理箱体上箱板，第一隔板和处理箱体前端箱体之间形成废气的预处理室，第一隔板面向多个导风管进风口位置处设置多个相互平行的第一喷淋管，多个第一喷淋管分别固定在多个第一管架上，多个第一管架固定在第一隔板上。本实用新型通过喷淋的洗涤水能够有效吸收处理半导体清洗工艺过程中产生的废气中的有害物质；通过设置整流板，废气从第一整流板和第二整流板的整流孔通过时能够风速均一化，提高后续吸附效率。 |
