一种能够去除金属离子的风机过滤装置
基本信息
| 申请号 | CN202120803242.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215276196U | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN215276196U | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | B01D46/00（2006.01）I;B01D53/74（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 王贝易;孙涛;侯新建 | 申请（专利权）人 | 盛奕半导体科技（无锡）有限公司 |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 崔婕 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市中国传感网国际创新园E2-111 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及空气过滤技术领域，尤其是一种能够去除金属离子的风机过滤装置。其包括外壳体，所述外壳体上端面通过连接件可拆卸的连接两个上盖板，所述两个上盖板并排设置，两个上盖板上分别设置进风口，所述进风口处设置初效过滤器；两个所述初效过滤器正下方分别设置一个风扇组件，初效过滤器出风口和风扇组件进风口之间设置整流罩。本实用新型结通过设置化学过滤器，能够去除半导体生产环境中存在的酸碱气体和金属离子，减少工艺上的不良现象；两个并排设置的风扇组件之间相互独立工作，同时处理两个通道的空气；风扇组件的平衡支架和减震套的设置能够提高风扇组件工作稳定性，避免振动对气流的影响。 |
