一种用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定的方法
基本信息
申请号 | CN201610208547.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN105716722B | 公开(公告)日 | 2018-11-09 |
申请公布号 | CN105716722B | 申请公布日 | 2018-11-09 |
分类号 | G01J5/00 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 马远;李东振;吴勇;周健杰 | 申请(专利权)人 | 江苏中电振华晶体技术有限公司 |
代理机构 | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 滑春生 |
地址 | 225000 江苏省扬州市高蜀北路68号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定的方法,具体步骤如下:(1)将用于蓝宝石晶体生长的红外测温的设备结构安装好,并正对测温孔,在炉体外部安装好红外测温仪;(2)将炉内热场温度升温直至所述的信号管内的高熔点氧化物固体材料熔化;熔化后的高熔点氧化物熔液流出与石墨或炭炭材料接触反应,生成的碳粉尘、金属粉尘、碳化物和碳氧化物以烟雾的形式游离出来,层积在观察窗口表面;(3)当操作人员可明显观察到观察窗口的可见度下降,记录红外测温仪的实测温度,与氧化物固体的熔点温度,对照完成测温仪温度的标定。本发明的优点在于:本发明采用专用的设备结构进行标定,能够实现工艺稳定性。 |
