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一种泡生法生长蓝宝石晶体的引晶方法

基本信息

申请号	CN201510529154.4	申请日	-
公开（公告）号	CN105019023B	公开（公告）日	2017-08-11
申请公布号	CN105019023B	申请公布日	2017-08-11
分类号	C30B29/20;C30B17/00	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	李东振;马远;邱一豇;吴勇;周健杰	申请（专利权）人	江苏中电振华晶体技术有限公司
代理机构	北京一格知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	滑春生
地址	226500 江苏省南通市如皋市如城镇海阳南路（南延）1号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种泡生法生长蓝宝石晶体的引晶方法，利用籽晶辐射散热开口的非旋转对称结构，引晶时包括如下步骤：（1）籽晶下浸熔体液面3—5mm；（2）通过等待非旋转对称结构的散热口散热，使籽晶向一侧优先生长出晶盘；（3）以3—12mm/h的平均提拉速度对籽晶进行提拉，提拉过程中采用间隔式瞬间提升，并旋转给定角度，间隔式瞬间提升后等待散热口方向再次生长出晶盘，以便进行下一次瞬间提升；（4）重复步骤（3）至晶节长度为60—80mm，形成螺旋状结构晶节，且固液相界面当量横截面直径为40—60mm时，结束引晶。本发明的优点在于：可获螺旋形状引晶结构，使籽晶缺陷和位错可最大程度上得到消除；不易出现断裂，能提高晶体成品率、易于产业化。