一种蓝宝石晶体导模法生长装置及生长方法
基本信息
| 申请号 | CN201410541528.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104264215B | 公开（公告）日 | 2017-02-08 |
| 申请公布号 | CN104264215B | 申请公布日 | 2017-02-08 |
| 分类号 | C30B15/34(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 薛卫明;马远;帕维尔.斯万诺夫;吴勇;牛沈军;周健杰 | 申请（专利权）人 | 江苏中电振华晶体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京一格知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 滑春生 |
| 地址 | 226500 江苏省南通市如皋市如城镇海洋南路（南延）1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种蓝宝石晶体导模法生长装置及生长方法，所述蓝宝石晶体导模法生长装置，包括晶体生长炉，炉内具有一用于装氧化铝溶液的外坩埚、一置于外坩埚口上方并与外坩埚口配合的吊盘以及一倒置于外坩埚内的内坩埚；使用上述蓝宝石晶体导模法生长装置生长蓝宝石晶体的生长方法，利用通气管向倒置内坩埚内注入混合性排液气体，同时在热场内通入混合性保护性气体。本发明的优点在于：本发明能够实现长晶过程中保持坩埚内熔体液面高度，且系统不会被堵塞且无振动，同时有效增加Mo/W等金属热场使用寿命，简化装料过程，同时因模具上沿远离熔体，不易变形，也可延长模具使用寿命，降低长晶成本。 |
