一种高效的蚀刻设备
基本信息
| 申请号 | CN201711265402.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107833853A | 公开（公告）日 | 2018-03-23 |
| 申请公布号 | CN107833853A | 申请公布日 | 2018-03-23 |
| 分类号 | H01L21/67;B08B3/02;B08B3/14 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张进元 | 申请（专利权）人 | 昆山市苏元电子集团有限公司 |
| 代理机构 | 苏州六一专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 沈陈 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市昆山市千灯镇华涛路108号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种高效的蚀刻设备，包括底板、位于所述底板上方的喷药装置、位于所述喷药装置左侧的支架装置、设置于所述支架装置上的电机装置、位于所述底板上方的支撑板装置、设置于所述底板上的旋转板装置、设置于所述支架装置上的喷水装置。本发明能够将喷过后的化学药液及水充分的分开回收，进而可以减少资源的浪费，并且可以防止对环境造成污染，操作简单，自动化程度高，使用方便。 |
