一种曲面光刻机
基本信息
| 申请号 | CN201910522206.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110244524A | 公开（公告）日 | 2019-09-17 |
| 申请公布号 | CN110244524A | 申请公布日 | 2019-09-17 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 谢修安; 谢景昱 | 申请（专利权）人 | 绍兴宝树印染科技有限公司 |
| 代理机构 | 绍兴普华联合专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 绍兴宝树印染科技有限公司 |
| 地址 | 312080 浙江省绍兴市柯桥区安昌街道安华公路西侧6幢3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种曲面光刻机，包括机架、X向运动模组、Y向运动模组、Z向编码板、光刻镜头、连接机构；所述X向运动模组安装于机架内，所述Y向运动模组位于于X向运动模组上方，所述X向运动模组通过连接机构驱动Y向运动模组沿Z向编码板上表面的路径向前移动，所述光刻镜头安装于Y向运动模组上且由Y向运动模组驱动沿Y轴移动。本发明中X向运动模组、Y向运动模组、Z向编码板配合作用，使光刻镜头以曲面工件上表面的形状为路径前进，从而完成对曲面工件上表面的逐行扫描光刻。 |
