一种光刻胶供给管路清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202022439348.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213591293U | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN213591293U | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | B08B9/032（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 王延安;王晓伟 | 申请（专利权）人 | 苏州理硕科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都明涛智创专利代理有限公司 | 代理人 | 毕雅凤 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城10幢102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光刻胶供给管路清洗装置，涉及集成电路技术领域，解决了目前对光刻胶供给管路清洗后，管路的内壁会附着残留的清洗液，从而影响供给管路清洗后首次使用的问题，其技术方案要点是：包括清洗仓，所述清洗仓中设置有出水泵，出水泵的输出端设置有延伸至清洗仓外部的清洗管；还包括干燥仓，所述干燥仓内设置有热风机和抽风机，所述热风机和抽风机的输出端分别设置有热风管和抽风管；所述热风管和抽风管的端部均设置有连接结构；达到提高整体装置实用性的效果。 |
