一种均匀布料光刻胶涂布吸头
基本信息
| 申请号 | CN202022445170.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213023935U | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN213023935U | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 杨江兵;王晓伟 | 申请（专利权）人 | 苏州理硕科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都明涛智创专利代理有限公司 | 代理人 | 毕雅凤 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城10幢102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种均匀布料光刻胶涂布吸头，涉及光刻胶涂布技术领域，解决了目前涂布吸头与晶圆定位不精准，以使在甩胶过程中各个位置离心力不均匀而导致光刻胶在晶圆的端面涂布不均匀，产生边缘锯齿现象的问题，其技术方案要点是：包括吸头主体，所述吸头主体包括由下至上依次设置的底盘和托盘，所述底盘和托盘均为圆盘状，且底盘和托盘的圆心重合；所述托盘的内部设置有安装腔，且托盘的上端面设置有开口；所述安装腔内设置有定位机构；所述底盘和托盘贯穿设置有通孔；达到降低操作难度和提高工作效率的效果。 |
