聚酰亚胺光刻胶及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202010553260.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111722470A | 公开（公告）日 | 2020-09-29 |
| 申请公布号 | CN111722470A | 申请公布日 | 2020-09-29 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王晓伟 | 申请（专利权）人 | 苏州理硕科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 苏州理硕科技有限公司 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城12幢401-88 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种聚酰亚胺光刻胶及其使用方法。所述聚酰亚胺光刻胶以重量份计，包括如下原料组分：聚酰亚胺树脂100份、光酸发生剂0.5～5份，及热交联剂5～10份；其中，所述聚酰亚胺树脂的制备方法包括如下步骤：将二胺单体和二酐单体进行聚合反应；对所述聚合反应所得产物中的羧基进行酯化；其中，所述二胺单体和/或所述二酐单体的结构中包含酚羟基，所述二胺单体与二酐单体的摩尔比为0.5～1：1。该聚酰亚胺光刻胶既可以用于传统的g‑h‑i线、g线和i线，也可以通过感光剂的改变用于短波长的KrF和ArF光源，实现更高的解像度，适用面宽。 |
