一种光刻胶软烘干装置
基本信息
| 申请号 | CN202022439578.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213023934U | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN213023934U | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 范传新;王晓伟 | 申请（专利权）人 | 苏州理硕科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都明涛智创专利代理有限公司 | 代理人 | 毕雅凤 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城10幢102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光刻胶软烘干装置，涉及光刻设备技术领域，解决了目前涂胶晶片在烘箱内烘干时，涂胶晶片受热不均匀，造成烘干不彻底，使得薄膜与垫底的粘附度不足，同时部分晶片热板直接接触加热时，极易造成晶片爆裂，造成成品率底下的问题，其技术方案要点是：包括开口设置的烘箱主体，烘箱主体开口的两端对称设置有可将烘箱主体的开口封住的两个箱盖；烘箱主体的内部设置有隔温层，隔温层的顶端在两个箱盖合上时与箱盖的端部相抵触；烘箱的底端内壁和两个箱盖的下端面分别设置有位于烘干仓和冷却仓内部的加热器和冷却器；烘箱主体的内部还水平设置有与隔温层转动连接的转盘；达到提高产品成品率的效果。 |
