一种酚醛树脂光刻胶组合物及其制备方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种酚醛树脂光刻胶组合物及其制备方法

基本信息

申请号	CN202010448326.6	申请日	-
公开（公告）号	CN111538211A	公开（公告）日	2020-08-14
申请公布号	CN111538211A	申请公布日	2020-08-14
分类号	G03F7/075(2006.01)I	分类	-
发明人	王晓伟	申请（专利权）人	苏州理硕科技有限公司
代理机构	北京酷爱智慧知识产权代理有限公司	代理人	苏州理硕科技有限公司
地址	215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城10栋102
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种酚醛树脂光刻胶组合物及其制备方法，涉及光刻胶制备领域，所述的酚醛树脂光刻胶组合物包括如下重量份数的原料组分：硅氧烷酚醛树脂5‑15份、重氮萘醌磺酸酯类感光剂2‑3份、流平剂0.2‑0.4份、交联剂0.5‑1份、溶剂50‑100份；所述的硅氧烷酚醛树脂的结构式如式1所示。式1：式1中，R1是C1‑C6直链或支链烷基、C1‑C6甲氧基、羧基、羟基、氧代、芳香基和硝基中的一种；R2是C1‑C6直链或支链烷基、C1‑C6甲氧基、羧基、羟基、氧代、芳香基和硝基中的一种；R3是C1‑C6直链或支链烷基、C1‑C6甲氧基、羧基、羟基、氧代、芳香基和硝基中的一种；m＞80％，n≤5％，5％＜p＜10％。