一种节能型石墨烯发热芯片生产用基板清洗装置

基本信息

申请号 CN202022354268.9 申请日 -
公开(公告)号 CN213558894U 公开(公告)日 2021-06-29
申请公布号 CN213558894U 申请公布日 2021-06-29
分类号 B08B7/00(2006.01)I;B08B15/04(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 李少芳 申请(专利权)人 正芯半导体技术(深圳)有限公司
代理机构 北京成实知识产权代理有限公司 代理人 陈永虔
地址 518000广东省深圳市福田区华强北街道福强社区深南中路2070号电子科技大厦A座3104
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于清洗设备领域,尤其是一种节能型石墨烯发热芯片生产用基板清洗装置,包括清洗箱,所述清洗箱的顶端安装有盖板,清洗箱的底端固定安装有放置架,放置架上安装有吸尘器,吸尘器上连接有连接管,连接管延伸至清洗箱内并固定安装有吸尘罩,清洗箱的两侧内壁上均开设有转动孔,转动孔内转动安装有转动杆,转动杆的一端开设有第一槽,第一槽内滑动安装有第一杆,第一杆的一端延伸至转动杆的外侧并固定安装有U形座,第一杆的另一端开设有螺纹槽。本实用新型设计合理,通过对基板的转动,能够把杂物或灰尘甩出,通过吸尘器和吸尘罩能够对杂物和灰尘进行吸收,从而便于对基板进行清理。