一种半导体加工系统
基本信息
申请号 | CN202022343853.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213583707U | 公开(公告)日 | 2021-06-29 |
申请公布号 | CN213583707U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 包安勇 | 申请(专利权)人 | 正芯半导体技术(深圳)有限公司 |
代理机构 | 广州德伟专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 黄浩威 |
地址 | 518000广东省深圳市福田区华强北街道福强社区深南中路2070号电子科技大厦A座3104 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种半导体加工系统,包括底板,所述底板顶部的中部通过轴承转动安装有安装轴,所述安装轴的顶部固定连接有圆形板。该一种半导体加工系统,通过底板、圆形滑轨、滑块、电动伸缩杆、工件放置件、圆形板、安装轴、传动结构与驱动电机的配合使用,通过在圆形板的顶部安装的四个工件放置件,使其之间进行交替的使用,一个工件放置件进行进行锡膏印刷时,由两个工件放置件在等待,最后一个工件放置件在进行工件的切换,在对工件放置件上工件切换的同时也有工件在进行印刷操作,有效的降低了工件切换时,系统暂停工作所占据的时间,使得系统可进行持续性的印刷工作,进而大大的提高了系统的工作效率。 |
