一种半导体加工系统

基本信息

申请号 CN202022343853.9 申请日 -
公开(公告)号 CN213583707U 公开(公告)日 2021-06-29
申请公布号 CN213583707U 申请公布日 2021-06-29
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 包安勇 申请(专利权)人 正芯半导体技术(深圳)有限公司
代理机构 广州德伟专利代理事务所(普通合伙) 代理人 黄浩威
地址 518000广东省深圳市福田区华强北街道福强社区深南中路2070号电子科技大厦A座3104
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体加工系统,包括底板,所述底板顶部的中部通过轴承转动安装有安装轴,所述安装轴的顶部固定连接有圆形板。该一种半导体加工系统,通过底板、圆形滑轨、滑块、电动伸缩杆、工件放置件、圆形板、安装轴、传动结构与驱动电机的配合使用,通过在圆形板的顶部安装的四个工件放置件,使其之间进行交替的使用,一个工件放置件进行进行锡膏印刷时,由两个工件放置件在等待,最后一个工件放置件在进行工件的切换,在对工件放置件上工件切换的同时也有工件在进行印刷操作,有效的降低了工件切换时,系统暂停工作所占据的时间,使得系统可进行持续性的印刷工作,进而大大的提高了系统的工作效率。