一种金属网格的光罩拼接方法
基本信息
| 申请号 | CN201811227277.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109254692B | 公开（公告）日 | 2021-07-09 |
| 申请公布号 | CN109254692B | 申请公布日 | 2021-07-09 |
| 分类号 | G06F3/041;G03F7/20 | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 苏伟;王雷;王海峰;高荣亮;陆永荣 | 申请（专利权）人 | 深圳市志凌伟业技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇捷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 马金华 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙华新区观澜街道凹背社区大富工业区大富二路鹏龙蟠高科技园B栋4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种金属网格的光罩拼接方法，包含以下步骤：步骤一：拆分金属网格；步骤二：一次规避线路重影及线路变粗；步骤三：生产时采用二次曝光；步骤四：二次规避线路重影及线路变粗。步骤一中，所述金属网格覆盖在光罩的表面，金属网格包括产品A部分和产品B部分，步骤三中，曝光处理采用曝光机进行对产品A部分和产品B部分进行曝光，曝光机中曝光机灯管直接放置在产品A部分和产品B部分的正上方进行曝光处理，本发明通过特殊设计的专利技术能够完成金属网格的拼接，从而使能够生产的网格面积大小成倍数增长，适合推广。 |
