一种探针台温度控制系统
基本信息
| 申请号 | CN202120178900.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214474654U | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN214474654U | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | G05D23/20;G01R31/26 | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 赵晨光;刘伟;张海洋;吕文波 | 申请（专利权）人 | 苏州伊欧陆系统集成有限公司 |
| 代理机构 | 常州品益专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 侯慧娜 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区9幢202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体测试装置领域，具体涉及一种探针台温度控制系统。包括晶圆卡盘机构、冷水机、温控机、计算机和控制软件，晶圆卡盘机构包括晶圆卡盘、冷却盘机构和加热盘机构，晶圆卡盘用于固定待测试晶圆，晶圆卡盘内设置有若干温度传感器，冷水机为冷却盘机构提供循环冷媒介质实现制冷模式，温控机控制加热盘机构加热实现加热模式，计算机用于运行控制软件和采集温度传感器的数据、并分别与冷水机和温控机相互通讯；控制软件通过计算机驱动冷水机和温控机工作、并通过温度控制逻辑控制晶圆卡盘的温度。本实用新型集成度高，操作简单，通过硬件和控制软件，可提供精准的模拟温度。 |
