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一种多功能光学测试台

基本信息

申请号	CN202120202701.9	申请日	-
公开（公告）号	CN214374396U	公开（公告）日	2021-10-08
申请公布号	CN214374396U	申请公布日	2021-10-08
分类号	G01N21/956（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	吴会旭;刘伟;张海洋;吕文波	申请（专利权）人	苏州伊欧陆系统集成有限公司
代理机构	常州品益专利代理事务所（普通合伙）	代理人	侯慧娜
地址	215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区9幢202室
法律状态	-

摘要

本实用新型半导体测试装置领域，具体涉及一种多功能光学测试台。包括减震机架，减震机架的台面中间设置有光学基台，光学基台左右两侧和后侧分别设置有显微镜机构分布形成左显微镜机构、右显微镜机构和后显微镜机构，显微镜机构通过位移台实现XYZ轴移动和定位；光学基台包括载物台和探针基台，载物台上固定有夹具，探针基台上用于固定探针机构；左显微镜机构和右显微镜机构配合用于对固定夹具所固定的待测试产品进行双面测试，后显微镜机构用于对固定夹具所固定的待测试产品进行单面测试。本实用新型集成晶圆测试和PCB电路测试功能，切换简单方便，通过切换不同的夹角可实现不同的测试功能，大大提高了测试效率和使用场景，可对PCB电路进行双面测试。