一种应用于探针台的多通道测试装置
基本信息
| 申请号 | CN202110468798.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113092992A | 公开（公告）日 | 2021-07-09 |
| 申请公布号 | CN113092992A | 申请公布日 | 2021-07-09 |
| 分类号 | G01R31/28（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 田腾腾;刘伟;张海洋;吕文波 | 申请（专利权）人 | 苏州伊欧陆系统集成有限公司 |
| 代理机构 | 苏州佳捷天诚知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 魏孝廉 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A7楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种应用于探针台的多通道测试装置。包括工作台，工作台的台面上设置有显微镜位移台，其内部工作腔设置有探卡翻转位移台和晶圆卡盘机构；显微镜位移台包括三轴位移组件，其前端设置有显微镜机构；探卡翻转位移台包括探卡Y轴位移组件和若干探卡X轴位移组件，若干探卡X轴位移组件均通过探卡翻转机构滑动设置在探卡Y轴位移组件上；若干探卡X轴位移组件上均滑动设置有若干探卡机构，若干探卡机构均包括探卡四轴微调滑台和探卡；晶圆卡盘机构设置在探卡机构的下方。本发明可装备多组探卡机构，每个探卡机构均可在三维空间内进行大行程快速移动和小行程的精准定位，从而组成多通道测试装备，满足不同大小和高度芯片的扎针。 |
